電子行業(yè)潔凈室的要求

 電子工廠生產(chǎn)工藝分類眾多，有集成電路生產(chǎn)（分為光掩膜、前道工序、后道工序），平南顯示器生產(chǎn)（分為LCD，PDP,TFT,VFD,顯像管），硅材料生產(chǎn)（單晶硅、多晶硅），光纖生產(chǎn)，制卡業(yè)，表面貼裝（SMT），分離器件生產(chǎn)（功率一、二、三級管。電容、電阻），整機(jī)組裝生產(chǎn)（機(jī)頂盒、數(shù)字投影儀。電子數(shù)碼相機(jī)），自控元器件生產(chǎn)（傳感器、執(zhí)行機(jī)構(gòu)）等。 

由于生產(chǎn)工藝種類繁多，對潔凈度等級要求也不同，高的很高，低的很低；對粒子粒徑控制的要求也不同，范圍約為0.1~5um；對溫濕度控制的要求相對較高，如集成電路前道工序一般要求室內(nèi)溫度基數(shù)為22℃（精度±0.1~±1℃），相對濕度基數(shù)為40%（精度±2~±5℃；正壓值要求的梯度級別，隨著潔凈度的變化而從高到低變化，差值5~10Pa。 

由于我國電子行業(yè)與國際先進(jìn)水平差距較大，隨著經(jīng)濟(jì)發(fā)展不斷加快，先進(jìn)技術(shù)不斷進(jìn)入我國。因此，生產(chǎn)工藝技術(shù)的更新，可謂日新月異，潔凈工程設(shè)計(jì)必須要適應(yīng)這么快的變化節(jié)奏。 

電子行業(yè)潔凈室的冷負(fù)荷比其他行業(yè)的潔凈室大很多，單位冷負(fù)荷達(dá)400~500W/㎡很常見。由于冷負(fù)荷大，一般情況下，冬季也需要供冷，這是電子行業(yè)的特點(diǎn)。 

電子行業(yè)生產(chǎn)工藝過程產(chǎn)生的有毒有害氣體種類繁多，且量也大，所以需要的排風(fēng)量和新風(fēng)量也大。新排風(fēng)的節(jié)能措施也是行業(yè)特點(diǎn)之一，排放前要做處理，使排風(fēng)負(fù)荷環(huán)保要求。 

電子行業(yè)生產(chǎn)工藝有抗靜電、抗微振的要求，并且大宗氣體和特種氣體種類多，對純度和潔凈度要求高。